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『研报』颗粒硅中氢杂质对直拉单晶硅的影响及控制措施分析

wang wang 发表于2026-02-23 08:44:21 浏览1 评论0

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『研报』颗粒硅中氢杂质对直拉单晶硅的影响及控制措施分析

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  • 本期文章:

    『研报』颗粒硅中氢杂质对直拉单晶硅的影响及控制措施分析

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  • 以下正文:

一、 核心问题:“氢跳”现象

  1. 定义与表现:在直拉单晶硅生产中,当使用硅烷流化床法制备的颗粒硅时,硅料中过高的氢杂质会在硅料未完全熔化时逸出,接触硅液液面引发剧烈沸腾,导致硅液溅出,此现象称为“氢跳”。

  2. 主要危害

    • 损坏设备:溅出的硅液黏附在水冷屏、加热线圈等关键热场部件上,可能引入外来杂质,缩短设备寿命。

    • 影响生产:导致生产中断,并可能引发单晶生长过程中的断线,降低生产效率和晶棒质量。

    • 限制应用:目前产线中颗粒硅仅作为添加料使用,且比例通常低于30%-40%,限制了其成本优势的发挥。

二、 氢杂质的来源与特性

  1. 主要来源:硅烷(SiH₄)热分解制备颗粒硅的过程中,部分未断裂的Si-H键被包裹在硅颗粒内部。同时,生产中使用氢气作为载气,以及颗粒硅巨大的比表面积,都导致其更容易吸附和引入氢。

  2. 分布猜想:颗粒硅的截面呈同心圆环状结构,表明其分层生长。氢杂质可能不仅存在于表面,更可能被包裹在每一生长层内部。

  3. 吸附机理复杂:氢在硅表面的吸附可能以氢分子或硅烷形式存在,包括非反应性吸附、反应性吸附和解离吸附三种途径,增加了后续脱氢的难度。

三、 氢杂质的检测方法

  1. 定量分析脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法是现行国家标准(GB/T 40566-2021),用于精确测量颗粒硅中的总氢含量。

  2. 定性分析傅里叶变换红外光谱(FT-IR)可用于分析氢以何种化学键(如Si-H键、Si-OH键)形式存在。

四、 现有控制措施与挑战

  1. 生产端缓解措施(治标):

    • 优化加料工艺:如加快加料频率、使用特殊设计的带通孔加料筒使硅料分布平整,以延缓中心区域硅液形成,减少“中心氢跳”。

    • 调整热场与气体:如降低加热功率、增大惰性气体流量,以减慢边缘熔化速度、抑制飞溅高度,缓解“边缘氢跳”。

    • 加装防护装置:在水冷屏上加装可拆卸保护罩,承接溅出的硅液,保护设备。

  2. 预处理脱氢技术(治本,尚不成熟):

    • 目前尝试的方法(如静态/真空加热)因颗粒硅堆积导致导热不均、脱附氢气难以排出,效果不佳。

    • 有研究提出结合高温真空与气泡悬浮法的新思路,可将氢含量降至10ppm以下,但存在污染熔体的风险。

  3. 面临的主要挑战

    • 机理不明确:氢在颗粒硅内的扩散过程和具体存在形式尚未完全明晰,阻碍了针对性脱氢方法的开发。

    • 检测技术限制:氢元素原子质量低,对痕量氢(要求检测精度优于0.00005mg)进行准确、高效、灵敏的检测仍是难题。

五、 结论与展望

论文指出,颗粒硅中氢杂质引发的“氢跳”是制约其大规模应用的关键瓶颈。未来研究应聚焦于三个方向:

  1. 优化颗粒硅制备工艺,从源头减少氢杂质的引入。

  2. 深入研究氢杂质的吸附/解离机理与存在形式,为开发高效脱氢技术提供理论依据。

  3. 开发更有效的颗粒硅预处理脱氢方案,从根本上降低氢含量,提高颗粒硅在直拉单晶中的使用比例,推动光伏产业链降本增效。

以下无正文。

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