一、核心观点

中科仪是国内唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产干式真空泵企业，2023年获评国家级专精特新"小巨人"。公司业绩持续高增——2025年营收/归母/扣非净利润分别为12.91/8.44/1.03亿元，YoY+19.30%/+337.77%/+17.19%。

归母净利润大幅增长主要系公司持有拓荆科技、中科信息股权，投资收益及公允价值变动高增（25年公允价值变动收益7.52亿元，YoY+9207%）。扣非净利润1.03亿（+17.19%）更能反映主业真实经营趋势——半导体干泵作为公司核心增长极，2025年集成电路领域收入达7.62亿元，YoY+14.90%。

二、行业逻辑：AI算力驱动扩产周期开启

▎市场格局：海外寡头主导，国产替代破局在即

当前全球半导体真空泵市场CR5市占率达78.4%，Edwards、Ebara、Kashiyama、Pfeiffer等国际厂商仍占主导。公司作为目前国内极少数真正跨越前道"苛刻工况"深水区的稀缺标的，2024年在国内半导体领域市占率稳步升至12.72%，且已实现清洁、中等、苛刻工艺全覆盖，部分产品关键指标与国际竞争对手处于同一水平。

三、公司护城河：三大壁垒铸就稀缺性

▎壁垒一：技术壁垒——国内唯一全工艺覆盖

公司是首个批量应用于集成电路制造工艺的国产真空获得设备制造企业，唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。核心产品矩阵：

• L系列：面向清洁工艺流程，抽速110~1,000m³/h

• M系列：面向中等工艺流程，抽速600~1,200m³/h

• H系列：面向苛刻工艺流程，抽速600~2,800m³/h

公司共获专利124项，参与编制13项国家、行业与团体标准，是全国真空技术标准化技术委员会副主任委员单位。

▎壁垒二：客户壁垒——绑定头部晶圆厂

公司深度导入长江存储、长鑫存储等头部晶圆厂、设备厂及泛半导体客户，并通过台积电、SK海力士等国际客户测试验证。半导体干泵验证周期长（通常2-3年）、工艺适配要求高，进入核心产线后客户粘性较强。

第二大股东为国家集成电路产业基金（持股15.14%），与中科院控股体系（实控人）形成"国家队"双重背书。

▎壁垒三：服务壁垒——维保后市场长坡厚雪

随着公司累计装机量提升，维修、维护及零部件更换需求有望持续增长。相较海外厂商，公司在本地化服务响应（24小时）、备件供应周期（国内仓直发）、维保成本（节省30-50%）方面具备显著优势，维保后市场有望成为公司新增长极。

四、财务数据：高速成长可期

五、估值与投资建议

2026年可比公司平均PS为14.92倍，平均PE为99倍。考虑到公司是国内唯一在半导体先进制程及清洁、中等、苛刻工艺实现批量应用的干式真空泵稀缺标的，AI浪潮下存储及先进制程产能高速扩张，干式真空泵作为覆盖70%工艺的关键部件，公司深度绑定长鑫、长存等国内巨头，随着下游客户国产化率持续提高，叠加维保市场长坡厚雪稳增长，首次覆盖给予公司"增持"评级。

六、风险提示